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平行密封型門閥XGTP系列

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平行密封型門閥XGTP系列

發布日期：2020-07-08 作者：屹誠點擊：

SMC最新推出了(le)一(yi)款平(ping)行密(mi)封型門閥XGTP系列(lie)。產品(pin)采用平(ping)行密(mi)封結構，可對應300mm晶圓(yuan)。適用于半(ban)導體裝置的(de)真空工藝腔室(shi)與傳輸(shu)腔室(shi)之間(jian)的(de)密(mi)封。